グラフェン生成用マスフロー/気化器CEM-VDM
- カテゴリ:
- マスフローメータ・コントローラ
- 気化器・蒸気供給装置
このグラフェンは下記のような多様な用途に用いられ、または適用が研究され、プラズマ励起化学気相堆積 (PECVD)により製造されます。
・水処理(グラフェン酸化物を用いた浄水用フィルタ等)
・医療・医薬(ドラッグデリバリー、インプラントのコーティング等)
・エネルギー(広い表面積と高い電気伝導性を活かしたバッテリー・蓄電池等)
・繊維産業(腐食防止コーティング、導電性インクなど)
・半導体(高い熱伝導性と電気伝導性を活かしたコンピュータやスマートフォン向けのチップ等)
PECVD向けの流量測定・制御および気化にCEM(Controlled - Evaporation - Mixing)システムが採用されています。
英文ブログ
ブロンコストのCEMシステム
液体用マスフローメータ、キャリアガス用マスフローコントローラ、三方混合弁付きヒーターにより液体の精密な気化が可能です。このCEMシステムを一つの筐体に納めたのがVDM(Vapor Delivery Module)です。
ブロンコストのVDM
ブロンコストのCEMシステムと蒸気搬送モジュールVDMの詳細はブロンコスト・ジャパンにお問い合わせ下さい!