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カテゴリ:気化器・蒸気供給装置

グラフェン生成用マスフロー/気化器CEM-VDM

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グラフェンは炭素原子が平面状に結合して並んだもので、フラーレン(球状)、カーボンナノチューブ(筒状)をシート状に広げたような構造となっています。

このグラフェンは下記のような多様な用途に用いられ、または適用が研究され、プラズマ励起化学気相堆積 (PECVD)により製造されます。

・水処理(グラフェン酸化物を用いた浄水用フィルタ等)
・医療・医薬(ドラッグデリバリー、インプラントのコーティング等)
・エネルギー(広い表面積と高い電気伝導性を活かしたバッテリー・蓄電池等)
・繊維産業(腐食防止コーティング、導電性インクなど)
・半導体(高い熱伝導性と電気伝導性を活かしたコンピュータやスマートフォン向けのチップ等)

PECVD向けの流量測定・制御および気化にCEM(Controlled - Evaporation - Mixing)システムが採用されています。

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CEM
ブロンコストのCEMシステム

液体用マスフローメータ、キャリアガス用マスフローコントローラ、三方混合弁付きヒーターにより液体の精密な気化が可能です。このCEMシステムを一つの筐体に納めたのがVDM(Vapor Delivery Module)です。

VDM
ブロンコストのVDM

ブロンコストのCEMシステムと蒸気搬送モジュールVDMの詳細はブロンコスト・ジャパンにお問い合わせ下さい!

液体気化供給システムCEM(Controlled Evaporation and Mixing)

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ブロンコスト・ハイテック(Bronkhorst High-Tech B.V. は、オランダの最先端の計測制御機器メーカーです。今回はブロンコスト・ジャパンが販売する製品の中から、液体気化供給システムCEM(Controlled Evaporation andMixing)を紹介します。

 

液体気化供給システムCEM

【機器の仕様】

 ◯液体用マスフローコントローラ (mini) CORI-FLOW™シリーズ

  製品カタログ

 ◯気体用マスフローコントローラ EL-FLOW®

  for EL-FLOW®シリーズ またはメタルシールシリーズ

  製品カタログ

 ◯気化器(ヒーター)
W-202AW-303B

        (W-202A)                                     (W-303B)

  for LIQUI-FLOW™/ mini CORI-FLOW™

  製品カタログ

 

【機器の特徴】

従来のバブラーシステムは、低蒸気圧の液体の扱いや、異なった蒸気圧を持つ液体の混合物を即座に気化できない問題がありました。そこでブロンコスト・ハイテックは、蒸気を質量流量制御しながら液体気化を供給するCEMシステム(特許取得、液体搬送システム/Liquid Delivery Sistem; LDS)を開発しました。バブラーシステムをCEMに交換した場合、よりダイレクトな手法として、液体を室温のままマスフローメータ(LIQUI-FLOW, μ-FLOW, mini CORI-FLOW)で流量計測しキャリアガスと混合、そして蒸発させます。この手法により、より広範な濃度の蒸気を高精度に再現。そして最大の特徴は、ガス流量、液体流量、そして熱交換機の温度制御を専用のアプリケーションでコントロールすることができます。

 

【適用事例】

 ・CVD(高純度・高パフォーマンスの固体マテリアルの製造)

 ・各種分析計のテスト/キャリブレーション用リファレンスガス発生用

 ・毒ガス防護服の効果検査等

 ・分析計(湿度計)用H2Oベーパー濃度リファレンス発生用

 ・燃料電池の加湿

 ・麻酔システム



CEM
システム【機器の特徴】

 

CEM(Controlled Evaporationand Mixing)システムは、常圧や真空プロセスに適用可能な革新的なベーパー制御による液体供給システム(Liquid Dosing System; LDS)です。

「VDM」 精密気化器のパッケージモデル

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ブロンコストの精密気化器「VDM」です。
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精密な気化に必要な以下の製品がパッケージ化されております。

-キャリアガス用MFC
-液体ソース用MFC
-気化器
-ミキシングバルブ
-電源
-指示設定器
-他希釈用MFCなどオプションあり

これらをそれぞれ購入して組み上げる事も可能ですが、
配管長だったり、温度管理だったり、また個々の機器のバランスだったり、
すべてのバランス取ることは非常に手間がかかります。
そこでブロンコストはすべてをパッケージ化し、ユーザー側ではプラグインプレーで
動作可能な「Vapor Delivery Module」を販売することになりました。
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ご興味ございましたら是非お問い合わせください!

ブロンコストの気化器

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ブロンコストの気化器の紹介です。
全部で4種類のサイズ(気化容量)をラインナップしております。
ブロンコスト気化器1

W-101A仕様
液体ソース最大: 2g/h (水相当)
キャリアガス: 4Ln/min (Air相当)
圧力: 10MPa(g)まで

W-102A仕様
液体ソース最大: 30g/h (水相当)
キャリアガス: 4Ln/min (Air相当)
圧力: 10MPa(g)まで

ブロンコスト気化器2

W-202A仕様
液体ソース最大: 120g/h (水相当)
キャリアガス: 10Ln/min (Air相当)
圧力: 10MPa(g)まで

W-303B仕様
液体ソース最大: 1200g/h (水相当)
キャリアガス: 100Ln/min (Air相当)
圧力: 10MPa(g)まで

さらに液体ソースの供給には、
ブロンコストのコリオリ式MFCをご利用頂きますと、
質量にて正確な投入が可能になります!

これらの技術を持つのはブロンコストだけです。
正確なベーパー制御が必要なお客様、
是非お問合せ下さい!!

第56回燃焼シンポジウム(大阪)出展

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ブロンコストは2018年11月14-16日に大阪で開催中の燃焼シンポジウムに出展させて頂いております。

第56回燃焼シンポジウム
会期:2018年11月14日(水) - 11月16日(金)
会場:堺市産業振興センター
http://www.combustionsociety.jp/sympo56/
exhibition
燃焼学会
バーナー・工業炉などにおすすめのマスフローコントローラ、燃焼実験用の気化システム(CEM)などを展示しております。

シンポジウムにご参加の折はお立ち寄りください!

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