製品紹介記事 その46 FLEXI-FLOW Compact その2
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ブロンコストが2022年春に発表した新製品
FLEXI-FLOW Compact です。
今回はFLEXI-FLOW Compactの中核に当たる流量センサー部の構造に関してご説明しましょう。
FLEXI-FLOW Compactに採用された流量センサーは、TCS(Trough Chip Sensor)Technology バイパスフローセンサーと呼称されています。
今までの巻線型とMEMS型を融合して、巻線型センサーの器差の原因であったニクロム線を巻いたセンサーから脱却しつつ、従来培ってきた分流構造でのブロンコストのバイパスに関わるノウハウを活かし、広いレンジで高い精度、繰り返し性を維持できるセンサー技術なのです。
基本的に、このセンサーは2つの真っ直ぐな窒化ケイ素キャピラリーで構成され、それぞれの直径は100μm、壁の厚さは1μmです。上部の温度依存の金属抵抗器は、ヒーターおよび温度セサーとして機能します。
流路にただMEMSセンサーを配置するのではなく、巻線型センサーのセンサー部をMEMS技術で再現する事で、今まで培ってきた分流(バイパス)技術を利用した多彩な流量・圧力レンジでへの拡張性をうかがわせるブロンコストらしいマスフローセンサーだと思います。
まさに温故知新と言えますね。
TCS Technology バイパスフローセンサーを搭載したFLEXI-FLOW Compactに興味を持たれたら、是非ブロンコスト・ジャパン(株)へ